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    SR100 薄膜分析仪

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    简介


      SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。

     

      产品详情:

    基本功能

    1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
    2,实现薄膜均匀性检测
    3,实现反射、投射以及颜色测量

    产品特点

      强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
      简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
      快捷、准确、稳定的参数测试;
      支持多功能配件集成以及定制;
      支持不同水平的用户控制模式;
      支持多功能模拟计算等等。

    系统配置

      型号:SR100R
      探测器: 2048像素的CCD线阵列
      光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
      光传送方式:光纤
      台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
      软件: TFProbe 2.2版本的软件
      通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
      测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
      电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间
      电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
      保修:一年的整机及零备件保修

     

    规格尺寸


      波长范围:250nm到1100 nm
      光斑尺寸:500μm至5mm
      样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
      基板尺寸:最多可至50毫米厚
      测量厚度范围*:2nm~50μm
      测量时间:最快2毫秒
      精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
      重复性误差*:小于1 ?

    可选配件项

      用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) )
      最低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
      在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX)
      在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300)

     

    应用系统


      主要应用于透光薄膜分析类领域:

      1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

      2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

      3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

      4 医学,生物薄膜及材料领域等

      5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

      6 医药,中间设备

      7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

      8 半导体化合物

      9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

      10 非晶体,纳米材料和结晶硅

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      简介:

      SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。

     

      产品详情:

    基本功能

    1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
    2,实现薄膜均匀性检测
    3,实现反射、投射以及颜色测量

    产品特点

      强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
      简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
      快捷、准确、稳定的参数测试;
      支持多功能配件集成以及定制;
      支持不同水平的用户控制模式;
      支持多功能模拟计算等等。

    系统配置

      型号:SR100R
      探测器: 2048像素的CCD线阵列
      光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
      光传送方式:光纤
      台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
      软件: TFProbe 2.2版本的软件
      通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
      测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
      电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间
      电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
      保修:一年的整机及零备件保修

     

      规格参数:

      波长范围:250nm到1100 nm
      光斑尺寸:500μm至5mm
      样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
      基板尺寸:最多可至50毫米厚
      测量厚度范围*:2nm~50μm
      测量时间:最快2毫秒
      精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
      重复性误差*:小于1 ?

    可选配件项

      用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) )
      最低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
      在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX)
      在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300)

     

      应用系统:

      主要应用于透光薄膜分析类领域:

      1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

      2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

      3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

      4 医学,生物薄膜及材料领域等

      5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

      6 医药,中间设备

      7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

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    暂未实现,敬请期待
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